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Mikrosystemtechnik

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2026-08-07 2026-08-15

价格历史
更新时间	价格
2026-08-07	16,31
2026-08-08	26,96
2026-08-14	35,50
2026-08-15	5 077,00

卖家	Product price	Delivery	总计	可用性	Updated
SP SpringerNatureLink Shop INT	5 077,00 JPY	19,00 JPY	5 096,00 JPY	可购买	4 天前	View offer
SP Springer Nature Author	5 077,00 JPY	19,00 JPY	5 096,00 JPY	可购买	1 周前	View offer
SP SpringerNatureLink Shop INT	35,50 USD	25,00 USD	60,50 USD	可购买	4 天前	View offer
SP SpringerNatureLink Shop INT	42,00 EUR	25,00 EUR	67,00 EUR	可购买	4 天前	View offer
VI VitalSource	227,70 ZAR	15,00 ZAR	242,70 ZAR	可购买	1 周前	View offer

价格和库存可能会有变动。最后更新: 08.08.2026 05:31.

EAN 9783835100039

Springer Nature

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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.