Mikrosystemtechnik
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2026-08-07
2026-08-08
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| 2026-08-07 | 16,31 |
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| SP Springer Nature Author | 5 077,00 JPY | 19,00 JPY | 5 096,00 JPY | Verfügbar | vor 1 Tag | View offer |
| SP SpringerNatureLink Shop INT | 39,05 EUR | 19,00 EUR | 58,05 EUR | Verfügbar | vor 2 Tagen | View offer |
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Preise und Verfügbarkeit können sich ändern. Zuletzt aktualisiert: 08.08.2026 05:31.
EAN
9783835100039
Springer Nature
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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
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