Mikrosystemtechnik
☆☆☆☆☆
(0 opinii)
Najniższa cena (z dostawą)
3 633,00 JPY
Typowa cena923,54 PLN
Najniższa (90 dni)26,96 PLN
Liczba ofert2
Ostatnia aktualizacja1 dzień temu
| Sprzedawca | Cena produktu | Dostawa | Razem | Dostępność | Aktualizacja | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SP Springer Nature Author | 3 604,00 JPY | 29,00 JPY | 3 633,00 JPY | Dostępny | 1 dzień temu | Zobacz ofertę |
| SP SpringerNatureLink Shop INT | 36,23 EUR | 19,00 EUR | 55,23 EUR | Dostępny | 1 dzień temu | Zobacz ofertę |
Ceny i dostępność mogą ulec zmianie. Ostatnia aktualizacja: 08.08.2026 23:05.
EAN
9783835190221
Springer Nature
0,0
☆☆☆☆☆
0 opinii
5★
0%
4★
0%
3★
0%
2★
0%
1★
0%
Opinie o produkcie
Brak opinii — bądź pierwszy!
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.